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什么是質(zhì)量流量計(jì),質(zhì)量流量控制器

時(shí)間:2022-11-26      點(diǎn)擊次數(shù):4431

質(zhì)量流量計(jì)
1什么是質(zhì)量流量計(jì)
質(zhì)量流量計(jì),英文Mass Flow Meter(簡(jiǎn)稱MFM),用來(lái)快速、精確測(cè)量過程氣體流量大小的精密傳感器。這里講的質(zhì)量流量計(jì)主要應(yīng)用于低壓、小流量的單一或混合氣體,低壓一般在1Mpa以下,最大可達(dá)3Mpa;流量范圍一般為:0.1sccm-5000slpm;單一氣體如常見的空氣、氦氣、氬氣等,要求相對(duì)干燥、純凈;混合氣體則需明確氣體種類和比例。

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2質(zhì)量流量計(jì)可獲得哪些參數(shù):

易度質(zhì)量流流量計(jì)可精確獲得氣體的實(shí)時(shí)溫度、壓力、工況流量、標(biāo)況流量和累計(jì)流量五大參數(shù)。

3質(zhì)量流量計(jì)的單位:

一般為:SLPM(標(biāo)況下升/分鐘)和SCCM(標(biāo)況下毫升/分鐘),均為標(biāo)況下的體積流量單位,易度標(biāo)況定義為101.325KPa和25℃。

4質(zhì)量流量計(jì)的構(gòu)成:

易度層流質(zhì)量流量計(jì)主要由層流元件、壓差傳感器、壓力傳感器、溫度傳感器、電路設(shè)計(jì)、軟件算法六部分組成。

5層流壓差式質(zhì)量流量計(jì)的工作原理:

層流壓差原理,基于哈根泊肅葉定律設(shè)計(jì)的

在溫度、管徑等參數(shù)一定的情況下,氣體是層流狀態(tài)時(shí),通過獲取層流元件兩端的壓差信號(hào),計(jì)算出體積流量,然后通過溫度、壓力等參數(shù)的修正,獲得標(biāo)準(zhǔn)體積流量。

質(zhì)量流量計(jì)結(jié)構(gòu)示意圖:

圖片1.png

6質(zhì)量流量計(jì)的通訊:

質(zhì)量流量計(jì)可通過RS485、profibus等數(shù)字信號(hào),0-5V 、4-20mA模擬信號(hào)或觸摸式顯示屏面板來(lái)進(jìn)行介質(zhì)切換、標(biāo)況定義更改、參數(shù)顯示等操作。

 

 

質(zhì)量流量控制器
1什么是質(zhì)量流量控制器
質(zhì)量流量控制器,英文Mass Flow Controller(簡(jiǎn)稱MFC),用來(lái)快速、精確、穩(wěn)定控制過程氣體的流量大小,自動(dòng)化設(shè)備中的氣路控制核心部件。質(zhì)量流量控制器主要應(yīng)用于控制低壓、小流量的單一或混合氣體,低壓一般在1Mpa以下,最大可達(dá)3Mpa;流量范圍一般為:0.1sccm-5000slpm;單一氣體如常見的空氣、氦氣、氬氣等,要求相對(duì)干燥、純凈;混合氣體則需明確氣體種類和比例。


2質(zhì)量流量控制器可控制哪些參數(shù):

易度質(zhì)量流量控制器可根據(jù)客戶工藝要求,控制氣體流量大小,該流量是標(biāo)況下的體積流量,同時(shí)也可獲得氣體的實(shí)時(shí)溫度、壓力、工況流量、瞬時(shí)流量等關(guān)鍵參數(shù)。

3質(zhì)量流量控制器的單位:

一般為:SLPM(標(biāo)況下升/分鐘)和SCCM(標(biāo)況下毫升/分鐘),均為標(biāo)況下的體積流量單位,易度標(biāo)況定義為101.325KPa和25℃。

4質(zhì)量流量控制器的構(gòu)成:

層流質(zhì)量流量控制器主要由層流元件、壓力傳感器、壓差傳感器、溫度傳感器、精密比例調(diào)節(jié)閥、電路設(shè)計(jì)和軟件算法七部分組成。

5質(zhì)量流量控制器的工作原理:

層流質(zhì)量流量控制器,內(nèi)置壓力和溫度傳感器,能充分補(bǔ)償因溫度和壓力引起的體積流量和質(zhì)量流量間的差異,并根據(jù)作為電信號(hào)發(fā)送的設(shè)定流量通過精密電磁比例調(diào)節(jié)閥自動(dòng)控制氣體流量,從而提供更加準(zhǔn)確和穩(wěn)定的流量測(cè)量和控制。

質(zhì)量流量控制器結(jié)構(gòu)示意圖:

圖片1.png

 

6質(zhì)量流量控制器的通訊:

質(zhì)量流量控制器可通過RS485、profibus等數(shù)字信號(hào)0-5V 、4-20mA模擬信號(hào)或觸摸式顯示屏面板來(lái)進(jìn)行流量設(shè)定、介質(zhì)切換、標(biāo)況定義更改、參數(shù)顯示等操作。


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